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疊層電感元件之工藝

1.疊層電感元件和制作工藝

疊層電感(磁珠)是把有電極的陶瓷膜片(Sheet),以一定的方式疊合、加壓、切割、排膠,一次燒結(jié)使之形成獨石(Monolithic)結(jié)構(gòu),再制作端電極,之后就制成了疊層電感器(磁珠)?;蛘哒f是利用流延(或印刷)工藝制作的陶瓷膜片(或半導(dǎo)體陶瓷膜),以一定的方式 疊合(印刷)、切割、脫粘合劑,一次燒結(jié),再制作端電極而制成的電感元件。

疊層是指在流延(或印刷)工藝生產(chǎn)的陶瓷膜片上,先印刷上幾十個或幾百個電極圖案,然后把許多層這種膜片交錯疊合,形成長方形或正方形疊片狀構(gòu)造。目前較為成熟的制作工藝

是流延穿孔法和交替印刷法。

流延穿孔法,即將低溫?zé)Y(jié)的介質(zhì)材料加粘合劑等制成漿料,用流延工藝制成干膜片,在設(shè)定的位置用機械方法打通孔,然后在干膜片上印刷3/4周導(dǎo)電的電極漿料,同時,在通孔中填充滿電極漿料。將印刷導(dǎo)電電極漿料的干膜片精確定位,疊層加壓形成一個整體,在精密切割機上切成單個的片感生坯,脫粘合劑,在900℃以下共燒形成獨石結(jié)構(gòu),再制作端電極后,就制成了疊層電感器。

交替印刷法,即將低溫?zé)Y(jié)的介質(zhì)材料加粘合劑等制成適合于絲網(wǎng)印刷工藝的漿料,印刷成介質(zhì)膜。在此膜上,印刷3/4周導(dǎo)電的電極漿料,再在1/2的區(qū)域上印刷介質(zhì)膜,這樣,1/2周的導(dǎo)電電極漿料被介質(zhì)膜覆蓋,1/4周未被覆蓋。再繼續(xù)印刷3/4周導(dǎo)電的電極漿料,與上次印刷未被覆蓋的導(dǎo)電電極漿料相連接,從而形成一匝回路導(dǎo)體,中間由介質(zhì)膜隔開。重復(fù)這一過程,就印刷成疊層電感結(jié)構(gòu),然后烘干、精密切割、排膠、倒角。在900℃以下共燒形成獨石結(jié)構(gòu),再制作端電極后,就制成了疊層電感器。


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